Trong lĩnh vực thiết bị sản xuất bán dẫn, vòng trượt không chổi than Mercotac® đã khẳng định vị thế là lựa chọn hàng đầu. Những ưu điểm vượt trội của chúng đặc biệt phù hợp với ngành này, bao gồm:
Quay liên tục hoặc quay từng phần
Tuổi thọ dài, không cần bảo trì
Nhiễu điện và điện trở thấp
Kích thước nhỏ gọn
Khả năng truyền tải nguồn điện và dữ liệu
Những lợi thế này khiến chúng trở thành một thành phần thiết yếu trong thiết bị bán dẫn, đảm bảo hiệu suất đáng tin cậy và độ chính xác cao trong suốt quá trình sản xuất.
Việc sử dụng vòng trượt không chổi than giúp thiết bị sản xuất bán dẫn duy trì khả năng dẫn điện đến các bộ phận quay. Điều này cho phép truyền tải tín hiệu điện, nguồn điện hoặc dữ liệu một cách hiệu quả và ổn định.
Một số ứng dụng phổ biến trong ngành sản xuất bán dẫn bao gồm:
Xử lý wafer – mài phẳng (lapping), mài (grinding), bàn xoay
Cánh tay robot
Hệ thống phủ chân không
Thiết bị kiểm tra điện
Lắng đọng hơi hóa học (CVD)
Lắng đọng hơi vật lý (PVD)
Đánh bóng cơ – hóa (CMP)
Việc sử dụng vòng trượt loại chổi than trong sản xuất bán dẫn có thể gây ra nhiều vấn đề như: nhiễu điện cao, khả năng hoạt động ở tốc độ thấp kém, điện trở lớn hơn và tuổi thọ ngắn. Trong quá trình vận hành, vòng trượt chổi than có thể tạo ra bụi và mảnh vụn, điều này đặc biệt gây bất lợi trong các môi trường yêu cầu độ sạch cao như phòng sạch (cleanroom).
Vòng trượt không chổi than Mercotac có điện trở thấp, mang lại kết nối ổn định và đáng tin cậy với tuổi thọ dài hơn. Loại không chổi than có thể hoạt động ở tốc độ cao hơn, loại bỏ vấn đề mài mòn chổi than, đồng thời đảm bảo vận hành trơn tru, ma sát thấp và không phát sinh bụi hay mảnh vụn.
Khi hệ thống điều khiển máy móc bằng máy tính ngày càng phổ biến, nhu cầu về vòng trượt có khả năng truyền dữ liệu tốc độ cao và tỷ lệ lỗi bit (bit error rate) cực thấp để sử dụng với Fast Ethernet hoặc Gigabit Ethernet cũng tăng theo. Mercotac đã phát triển các giải pháp đáp ứng những yêu cầu này.
